seren射频电源维修中100个常见问题

seren射频电源维修售后工程13790663326，总结了在seren射频电源维修中100个常问题。

【问题一】1.辉光后只有板压增加,板流很小,几乎没有. 原因: 1 A4板损坏 2 FU100电子管坏 方法:更换之

【问题二】2辉光后,板压板流均自动上升,且满偏 原因:A2板坏 方法:更换之

【问题三】 反射功率较大,入射功率加不上去,无法起辉 原因: 1 电源箱镀银电感线圈匝间短路 2 匹配箱两个真空电容之间的镀银电感匝间短路 方法:检查线圈,使其分开【问题四】4开高压后,压很高,随调节旋钮增大,板压迅速升到2000V以上,板流没有明显变..

【问题五】：前面板显示黑屏

答：检查电源连接器–确保其正确入位，交流电源线，如果正常，说明开关电源电路故障，

确认后面板断路器处于“1”（打开）位置。确保模拟接口连接器完全就位，模拟接口“MAINS INTLK”电路完成–将模拟接口连接器的针脚1连接到针脚14。检查铭牌上的交流电源（线路）电压–a当连接到115V AC时，220V装置不会打开干线确认前面板电源开关处于“1”（打开）位置位置（按下）。

【问题六】Seren射频电源无法启用面板

维修方法：确保模拟接口连接器完全就位模拟接口“联锁”信号处于TTL“低”状态–向

模拟接口连接器或连接引脚2和15一起安装在模拟接口连接器上。验证装置处于“面板”控制模式–检查前部面板显示，第2行，左侧。“面板”应为显示。有关更改控制模式的信息，请参阅

至“操作”部分的“控制源”标题。

【问题七】Seren射频电源无法启用RF输出，按下前面板RFON/OFF按钮，或通过模拟或串行接口。文本“EXT”显示在前面板的第2行陈列

【问题八】处于模拟控制时模式下，RF输出功率为不稳定和/或波动。确保针脚16处的接地回路（GND）信号，模拟接口连接器的17、18、21或23连接到与设定点相同的接地参考源信号（模拟接口连接器引脚13）。设定点信号是差分输入。为了正确接地回路（GND）信号必须参考与设定点相同的地面参考

【问题九】文本“EXT”显示在前面板的第2行陈列

模拟接口“联锁”信号处于TTL“高”状态–禁用RF输出。确保模拟接口连接器完全就位向模拟接口的引脚2施加TTL“低”信号连接或连接Analog上的针脚2和15接口连接器。

【问题十】文本“PAC”显示在前面板的第2行陈列

已满足功率放大器的电流限制阈值或超过。射频电源现在正向限制防止功率放大器电流

增加的。检查系统以查看负载是否有问题或检查外部匹配网络（如果存在），以及

确保其正常运行。降低功率设定值。

【问题十一】文本“REF”显示在前面板的第2行陈列

已达到反射功率警报阈值或超过。射频电源现在正向限制以防止反射功率增加。检查系统以查看负载是否有问题或检查外部匹配网络（如果存在），以及确保其正常运行。反射功率警报阈值设置得太低当前流程。检查工艺规范和/或反射功率警报阈值设置（请参阅可编程参数部分）。降低功率设定值。

【问题十二】文本“MAX”显示在前面板的第2行陈列

已达到最大功率限制阈值或超过。最大功率限制阈值设置得太低当前流程。检查工艺规范和/或

最大功率限制阈值设置（请参阅可编程参数部分）。降低功率设定值。