一、常规故障排除

使用以下步骤排除一般问题。

1.检查是否按照安装要求安装了射频电源、匹配器，冷确装置，其要求看说明手册

2.电源电压是否在规范范围内？

如果不确定或不正常，请参阅下面步骤中的“输入电压不正确”排除方法。

3.是否满足联锁要求？

如果不确定，请参阅下面步骤中的“联锁不满足”。

4.前面板显示器（LCD）是否点亮？假设有显示器的话

如果没有，请参阅下面步骤中的“前面板显示器（LCD）不亮”。

5.检查前面板显示器有无任何故障（EXX）或警告（WXX）

信息。如果显示屏上没有警告或错误信息，请转到下一步

步;如果显示屏上出现错误或警告信息，请参阅下面“检查

查找和解决错误和警告”。

6.射频电源是否与主机通信？

如果没有，请参阅下面步骤中的“通讯问题”。

二、匹配网络故障排除

1.验证了和检查匹配网络的阻抗范围是否适合负载？

如果不确定，请参阅下列步骤中的“不当阻抗范围”排除方法。

2.检查是否正确建立了射频电源和匹配网络以及匹配网络和负载的线缆连接

如果不确定，请参阅下面步骤中的“RF连接或布线不当”。

3.检查是否为射频电源连接了正确的地线，网络和负载？

如果不确定，请参见下列步骤的“不正确接地”。

4.检查是否为远程控制建立了正确的接口连接

如果是，但仍有问题，请参阅故障排除匹配网络

如果不确定，请参阅下列步骤的“不当接口连接”。

三、联锁不满足故障排除

必须满足联锁连接，一般要使用25针或者9针用户端口创建硬件联锁，详见射频电源手册

四、控制面板无显示。

有些射频电源前面板有打开/关闭功能，因此无显示请确认：

1.前面板ON/OFF开关处于ON位置。

2.输入线电压正常，可以用万用表量输入电压

五、通讯问题

根据全芯管工射频电源维修经验，有几个因素可能会导致通讯问题：

•接地不良

•布线不当

•波特率不正确（仅RS-232主机端口）-

确保主机使用的波特率和波特率

•数据包不正确或损坏

这个需要查看相关射频电源手册，有些射频电源就可能没有这个

•命令传输过快

•使用中手册中所述的握手协议

六、电容器故障

几个可能导致电容器故障的因素：

•无电源或输入电压或输入电压不正确

•装置设置不正确的调谐控制

•射频电源或者匹配器参数设置不正确

七、无电源或输入电压或输入电压不正确

确保输入电压在规定范围内

确保输入连接器连接到正确的针脚

八、阻抗范围不当，假如有使用匹配器的话

连接匹配的规格网络与基本应用程序参数（如

阻抗、电流、电压、相角、正向功率和反射）一致

可能造成故障的

•难以点燃等离子体

•难以通过手动或匹配网络自动调谐

•匹配网络内的电弧

九、射频连接或布线不当

正确操作需要射频电源、匹配网络和负载连接正常。由于连线造成的故障。

可以按下列方法排查。

•确认触点没有松动或腐蚀。

•如果您正在使用需要低阻抗和

更高的电流，尝试金属带或带状线连接。

•考虑导电元件的表面积和表面结构

（电缆、真空引线和电极），以确保所有元件

适用于RF电流的低穿透深度。

•尽量减少匹配和负载之间的电缆长度，以最大限度地减少功率损失。

十、接地不当

按要求正确建立射频电源、匹配网络和负载的公共地。确保拥有适当的

系统所有元件的接地。

十一、调整不当

在极少数情况下，调谐参数可能

需要针对特殊应用进行调整。

十二、检查并解决错误和警告

一般射频电源对许多错误和警告条件会作出响应。带面板的射频电源

前面板上显示警告（错误以XX形式出现，后跟消息文本）。

十三、查看错误描述和解决方案

射频电源手册上会列出可能出现的错误消息，并且描述每个错误消息，并说明如何解决错误。按说明进行操作即可

十四、如果以上都不能排除故障，请找专业的射频电源维修公司进行解决