AE射频电源维修基本知识
2023-04-16
东莞全芯AE射频电源售后维修服务部门，针对客户常见的AE射频电源维修知识做了一个简单的总结，更详细的AE射频电源维修/匹配器维修电话13790663326
一、AE射频电源基本知识
AE射频电源用于半导体生产和一般等离子体处理。这个13.56兆赫发电机采用并联激励电路，结构紧凑，可安装19“机架设计。典型的应用包括溅射、反应性离子蚀刻、RF偏压、溅射、溅射、等离子体聚合、等离子体表面处理和CO2激光系统。CESAR发电机采用了先进的开关模式技术。这高效的谐振开关概念导致降低的能量成本，减少了停机时间，延长了装置的使用寿命。
设计用于将功率调节到大范围的输出阻抗，可以在正向、负载或外部功率调节下运行模式前面
面板采用液晶显示器（LCD），带有易于使用的菜单包括广泛可编程的脉冲功能、目标寿命计数器，以及自定义您自己的配方、反射功率设置的子菜单。
二、AE射频电源维修型号大全
| AE APEX-10013 10KW/13 RF Generator, A3H0C200BA120G001A |
| AE HFV 8000 RF Generator 3155083 180 Rev A 0920-01122 |
| Advanced Energy AE Apex 3013 RF Generator 0920-00107 3156114-003 |
| AE Advanced Energy RFG 1251 3155107-001 13.56Mhz RF Generator |
| AE Paramount 6013 13.56MHz 6000W RF Generator |
| AE RFG-1251 RF Generator M/N 3155107-102 660-024637-200 |
| AE Apex 5513 Advanced Energy High Frequency Generator 3156115-004 |
| AE Apex 3103 3156113-012 RF Generator |
| AE APEX 3013 3156114-006 RF GENERATOR |
| Advanced Energy AE Apex 3013 RF Generator 3156113-011B |
三、AE射频电源原理图
这个是ae cesar 系列射频电源原画图，理解了这个，对AE射频电源的原理就都弄明白，理论基础都大同小异的。
四、AE射频电源维修价格
因为AE射频电源使用大量的射频元器件，其维修成本也是居高不下，东莞全芯射频电源维修，一般按其新品价值的20%-35%进行收费，具体情况检测之后再报价
五、AE射频电源维修售后服务联系方式
AE射频电源/匹配器售后联系电话13790663326 管工
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