安捷伦干涉仪激光头调试方法

安捷伦激光干涉仪激光头调试方法，本文由东莞全芯激光干涉仪维修部门提供，更多激光头维修方法，请联系管工13790663326

测试点。

1确保激光头电缆已从激光头上断开。

2取下盖子。

请参阅第69页的“卸下前面板和盖子”。

3通过读取板来识别激光头中使用的板

板上的零件号（见图13或14）。

如果激光头包含05517-60031 A3板，请参见上的图13

跳线和测试点位置见第47页。（注：p/n 05517-68031

实际显示在贴纸上。）

如果激光头包含05517-60032 A3板，请参见上的图13

跳线和测试点位置见第47页。（注：p/n 05517-68032

实际显示在贴纸上。）

如果激光头包含05517-60003 A3板，请参见上的图14

跳线和测试点位置见第47页。

4将加热器跳线A3JMP7移到断开位置。

5从A1上拆下HVPS连接器（带红色/黑色导线的3针）

连接器板（参见第48页图15）。

6现在，将激光头电缆重新连接到激光头以打开电源。

7将数字式万用表负极（-）引线连接至ACOM或信号接地。

8将数字式万用表正极（+）引线连接到A3TP11上。

DMM的读数应在+0.2 Vdc至+0.3 Vdc之间。

9记录调整试验第1行A3TP11处测得的电压

记录在第49页的“调整测试记录”中。

10将数字式万用表正极（+）引线连接到A3TP15上。

11根据卡套管/A3板组合的类型（见下文

注意）在激光头中，使用表10、11或12查找所需

A3TP15电压设置，基于测量的A3TP11电压。

12调整A3R14（A3R16用于旧版A3板，05517-60003），使其等于

表10、表11或表12中适当列出的TP15电压值。

13记录2号线上A3TP15的测量日期和实际电压读数

在第49页的“调整测试记录”中。

14断开激光头电缆与激光头的连接。

15将加热器跨接线A3JMP7移回NORMAL（正常）位置。

16将HVPS连接器重新连接到A1连接器板上。

17将数字式万用表的正极引线连接到A3TP11上。

18将激光头电缆重新连接到激光头上，使其通电。

19等待，直到就绪LED持续亮起，指示激光器

锁定。

数字式万用表应显示5V至7.5V的电压读数（对于

标准管）或6.5V至9V（对于短管）。

20在A3TP11上记录测量日期和实际电压读数

上的“调整测试记录”上的调整测试记录中的第3行

第49页。