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射频电源ACG-3B-01M5 -01常见故障，其售后维修电话为13790663326

【问题一】1.辉光后只有板压增加,板流很小,几乎没有. 原因: 1 A4板损坏 2 FU100电子管坏 方法:更换之

【问题二】2辉光后,板压板流均自动上升,且满偏 原因:A2板坏 方法:更换之

【问题三】 反射功率较大,入射功率加不上去,无法起辉 原因: 1 电源箱镀银电感线圈匝间短路 2 匹配箱两个真空电容之间的镀银电感匝间短路 方法:检查线圈,使其分开【问题四】4开高压后,压很高,随调节旋钮增大,板压迅速升到2000V以上,板流没有明显变..

【问题五】：前面板显示黑屏

答：检查电源连接器–确保其正确入位，交流电源线，如果正常，说明开关电源电路故障，

确认后面板断路器处于“1”（打开）位置。确保模拟接口连接器完全就位，模拟接口“MAINS INTLK”电路完成–将模拟接口连接器的针脚1连接到针脚14。检查铭牌上的交流电源（线路）电压–a当连接到115V AC时，220V装置不会打开干线确认前面板电源开关处于“1”（打开）位置位置（按下）。

【问题六】ACG-3B-01M5 -01维修射频电源无法启用面板

维修方法：确保模拟接口连接器完全就位模拟接口“联锁”信号处于TTL“低”状态–向

模拟接口连接器或连接引脚2和15一起安装在模拟接口连接器上。验证装置处于“面板”控制模式–检查前部面板显示，第2行，左侧。“面板”应为显示。有关更改控制模式的信息，请参阅

至“操作”部分的“控制源”标题。ACG-3-06维修

【问题七】ACG-3B-01M5 -01射频电源无法启用RF输出，按下前面板RFON/OFF按钮，或通过模拟或串行接口。文本“EXT”显示在前面板的第2行陈列

【问题八】处于模拟控制时模式下，RF输出功率为不稳定和/或波动。确保针脚16处的接地回路（GND）信号，模拟接口连接器的17、18、21或23连接到与设定点相同的接地参考源信号（模拟接口连接器引脚13）。设定点信号是差分输入。为了正确接地回路（GND）信号必须参考与设定点相同的地面参考

【问题九】文本“EXT”显示在前面板的第2行陈列

模拟接口“联锁”信号处于TTL“高”状态–禁用RF输出。确保模拟接口连接器完全就位向模拟接口的引脚2施加TTL“低”信号连接或连接Analog上的针脚2和15接口连接器。

【问题十】文本“PAC”显示在前面板的第2行陈列

已满足功率放大器的电流限制阈值或超过。射频电源现在正向限制防止功率放大器电流

增加的。检查系统以查看负载是否有问题或检查外部匹配网络（如果存在），以及

确保其正常运行。降低功率设定值。

【问题十一】文本“REF”显示在前面板的第2行陈列

已达到反射功率警报阈值或超过。射频电源现在正向限制以防止反射功率增加。检查系统以查看负载是否有问题或检查外部匹配网络（如果存在），以及确保其正常运行。反射功率警报阈值设置得太低当前流程。检查工艺规范和/或反射功率警报阈值设置（请参阅可编程参数部分）。降低功率设定值。

【问题十二】文本“MAX”显示在前面板的第2行陈列

已达到最大功率限制阈值或超过。最大功率限制阈值设置得太低当前流程。检查工艺规范和/或

最大功率限制阈值设置（请参阅可编程参数部分）。降低功率设定值。

依据AE官网及百度文库，对射频电源原理是这样解释的：射频电源可有效产生正弦电压波形通过滤波器和隔离变压器切换整流后的直流电。A.定向耦合器/检测器对RF功率信号进行采样，并使用该信号控制开关波形并因此控制输出功率。取决。调节方法，可以使用正向功率或负载功率作为控制

B、射频电源还可以控制负载处的电压，具有适当的电压反馈，并将装置设置为电压控制模式。

射频电源各种故障常见故障维修:射频便是射频电流，它是一种高频沟通改变电磁波的简称，其每秒改变小于1000次的沟通电称为低频电流，大于1000次的称为高频电流，因而射频电源常见的故障有没有功率输出，反射功率过大，没有波形产生，功率不够，烧场效应管，没有显示，无法通讯等。射频电源匹配器维修 型号OEM-ACG6B 品牌 ENI

维修射频电源 型号APEX5513 品牌Advanced Energy RPSC远程等离子体源维修品牌MKS 美国ASTEX FI20045

射频电源维修前的自我故障排除指南：

1.您是否按照安装要求安装CESAR发电机

本手册中的说明？

4如果是，请执行下一步。

4如果没有，请按照“安装

CESAR消融仪”见第5-3页。

2.电源电压是否在规范范围内？

4如果是，请执行下一步。

4如果不确定或不确定，请参阅第6-5页的“输入电压不正确”。

3.是否满足联锁要求？

4如果是，请执行下一步。

4如果不确定或不确定，请参见第6-3页的“联锁不满足”。

4.前面板显示器（LCD）是否点亮？

4如果是，请执行下一步。

4如果没有，请参阅第6-4页的“前面板显示器（LCD）不亮”。

5.检查前面板显示器有无任何故障（EXX）或警告（WXX）

信息。

更多的故障排除，请参阅

一、美国AE射频电源出现故障维修经验射频电路的原理

射频电路的原理咱们以一般手机射频电路来具体的介绍：

1.接纳电路的结构和工作原理：

接纳过程中天线把基站发送来电磁波转为弱小沟通电流信号经滤波，高频扩大后再送入中频内进行解调，得到接纳基带信息(RXI-P、RXI-N、RXQ-P、RXQ-N)，再送到逻辑音频电路进一步处理。其电路结构：接纳电路由天线、天线开关、滤波器、高放管(低噪声扩大器)、中频集成块(接纳解调器)等电路组成。

2.美国AE射频电源出现故障维修经验发射电路的结构和工作原理

发射时，把逻辑电路处理过的发射基带信息调制成的发射中频，用TX-VCO把发射中频信号频率上变为890M-915M(GSM)的频率信号。经功放扩大后由天线转为电磁波辐射出去。

发射电路由中频内部的发射调制器、发射鉴相器;发射压控振荡器(TX-VCO)、功率扩大器(功放)、功率控制器(功控)、发射互感器等电路组成。

服务品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO，MKS,AMAT，相干，RFPP

HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN，ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH   LAMP、ESC HV PSU，ADL       

电源维修

维修尖端精密设备电源配件，主要有高压电源（High Power Supply）、DC、

射频电源(RF Generator)、微波电源，中频电源及匹配器RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。

分子泵控制器维修

CTI,浦发，爱发科，岛津，varian等各种分子泵控制器维修

流量计/真空规维修

Inficon,MKS,BROOKS,浦发，varian,

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源/匹配器

2、MKS ENI 射频电源及匹配器维修

3、DAIHEN 4、KYOSAN射频电源/匹配器维修

5、COMDEL射频电源及匹配器维修

6、ADTEC射频电源及匹配器维修

7、SEREN射频电源及匹配器维修

8、安捷伦ICPMS电源维修

9、赛默飞ICP射频电源维修，NUM icp射频电源维修

8、RFPP

二、RF MATCH(射频电源匹配网络)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

7、安捷伦

8、赛默飞

9、num

三、高压电源

1、HiTek Power supply高压电源

2、ADVANCE HIVOLT高压电源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源

5、SPELLMAN高压电源

6、Varian高压电源

7、其他品牌

四、直流电源

1、LAMDBA ESS/EMI直流电源

2、Delta ELEKTRONIKA直流电源

3、SORENSEN直流电源

4、AMETEK可编程电源

5、POWER TEN直流电源

6、灯丝电源、X射线电源

7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

3、ASTeX Smart Match

4、mks

东莞全芯致力于半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳 能生产设备、电镀行业设备电子备件，医疗设备电子，科研院所，真空镀膜等行业，致力于各种大功率开关 电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修，RF电源维修、高频电源维修、ups 电源，分子泵控制器维修，电路板，流量计，真空计等尖端精密电子维修和技术服务 。从业二十年，有着丰富原厂的技术支援，有绘制完整的原理图，和各种电源固件，修复率，维修速度快，测试和校准化符合工业规范，达到出厂标准 服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统。