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adtec 射频电源维修方法案例，东莞全芯射频电源维修售后电话13790663326提供

射频放大器故障排除

偏置电源许多射频放大器利用前一级的功率来提供直流偏置。图2显示了晶体管Q1的偏置是如何产生的。

来自前一级的RF通过Q1的基极-发射极结进行整流。电流通过R1和变压器流到地。C1的电抗在RF时较低，因此RF绕过电阻器。

C1还用于对RF脉冲进行滤波，并在R1两端产生直流电压。在Q1的基极，这个直流电压相对于地是负的。因此，Q1将是仅在正RF

峰值上导通的C类放大器。图1显示了Q1基极的瞬时电压，可以用示波器观察到。

短路Cl如果C1短路，过大的驱动力将达到Q1。Q1不可能产生负偏压。这将导致Q1汲取过多的电流并破坏其自身。如果Q1坏了，

在更换Q1之前，务必检查所有部件。

开路Cl如果C1开路，则到达Q1的驱动器将大大减少。偏置电压将低于并且Q1将不会产生全功率输出。

开路R1这些电路中的电阻器可能过热并出现故障开路。由于基极-发射极结的整流器作用，C1将充电到RF驱动电压的负峰值。

这将切断Q1，并且将没有功率输出。

输出网络现在考虑Q1输出侧组件中可能出现的故障。常见故障包括阻塞电容器短路、调谐电容器过热和扼流圈开路。

短路阻塞电容器考虑图3中的电路。假设电容器Cb已经短路。如果这个放大器连接到一个没有直流接地的天线上，就不会有任

何影响。Cb不是任何调谐电路的一部分；它的工作是阻断来自下一级或天线的直流电源。

许多天线显示对直流短路。在这种情况下，过大的电流会流过L1和L2，可能会损坏它们和电源。如果发现阻塞电容器短路，明

智的做法是检查接线或印刷电路板和电源是否损坏。

故障调谐电容器提供给晶体管Q1的交流负载阻抗取决于Ct和L2，形成将天线阻抗转换为正确值的调谐电路。假设Ct短路。在这

种情况下，负载阻抗可能太低，Q1会消耗过多的电流。如果Ct是打开的，则会发生相反的情况。在任何一种情况下，功率输出

都将非常低。

ADJUSTMENTS假设Ct只是没有正确调整（它通常是可变的）。功率输出会过高或过低，具体取决于误差的方向。由于集电极电

流过大，高功率输出将伴随Q1过热。

L2通常也是可调节的。您必须交替调整Ct和L2，以获得正确的阻抗匹配。寻找最小集电极电流和最大功率输出。使用频谱分析

仪来确定放大器没有调谐到谐波。有些放大器会愉快地调谐到二次或三次谐波。其他人会同时在许多频率上爆发自激振荡。频

谱分析仪将揭示放大器可能存在的许多坏习惯。

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依据AE官网及百度文库，对射频电源原理是这样解释的：射频电源可有效产生正弦电压波形通过滤波器和隔离变压器切换整流后的直流电。A.定向耦合器/检测器对RF功率信号进行采样，并使用该信号控制开关波形并因此控制输出功率。取决。调节方法，可以使用正向功率或负载功率作为控制

B、射频电源还可以控制负载处的电压，具有适当的电压反馈，并将装置设置为电压控制模式。

射频电源各种故障常见故障维修:射频便是射频电流，它是一种高频沟通改变电磁波的简称，其每秒改变小于1000次的沟通电称为低频电流，大于1000次的称为高频电流，因而射频电源常见的故障有没有功率输出，反射功率过大，没有波形产生，功率不够，烧场效应管，没有显示，无法通讯等。射频电源匹配器维修 型号APEX 3013 品牌 AE

维修射频电源 型号APEX   3013品牌Advanced Energy RPSC远程等离子体源维修品牌MKS 美国AE APEX 3013

射频电源维修前的自我故障排除指南：

1.您是否按照安装要求安装CESAR发电机

本手册中的说明？

4如果是，请执行下一步。

4如果没有，请按照“安装

CESAR消融仪”见第5-3页。

2.电源电压是否在规范范围内？

4如果是，请执行下一步。

4如果不确定或不确定，请参阅第6-5页的“输入电压不正确”。

3.是否满足联锁要求？

4如果是，请执行下一步。

4如果不确定或不确定，请参见第6-3页的“联锁不满足”。

4.前面板显示器（LCD）是否点亮？

4如果是，请执行下一步。

4如果没有，请参阅第6-4页的“前面板显示器（LCD）不亮”。

5.检查前面板显示器有无任何故障（EXX）或警告（WXX）

信息。

更多的故障排除，请参阅

一、美国AE射频电源出现故障维修经验射频电路的原理

射频电路的原理咱们以一般手机射频电路来具体的介绍：

1.接纳电路的结构和工作原理：

接纳过程中天线把基站发送来电磁波转为弱小沟通电流信号经滤波，高频扩大后再送入中频内进行解调，得到接纳基带信息(RXI-P、RXI-N、RXQ-P、RXQ-N)，再送到逻辑音频电路进一步处理。其电路结构：接纳电路由天线、天线开关、滤波器、高放管(低噪声扩大器)、中频集成块(接纳解调器)等电路组成。

2.美国AE射频电源出现故障维修经验发射电路的结构和工作原理

发射时，把逻辑电路处理过的发射基带信息调制成的发射中频，用TX-VCO把发射中频信号频率上变为890M-915M(GSM)的频率信号。经功放扩大后由天线转为电磁波辐射出去。

发射电路由中频内部的发射调制器、发射鉴相器;发射压控振荡器(TX-VCO)、功率扩大器(功放)、功率控制器(功控)、发射互感器等电路组成。

服务品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO，MKS,AMAT，相干，RFPP

HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN，ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH   LAMP、ESC HV PSU，ADL       

电源维修

维修尖端精密设备电源配件，主要有高压电源（High Power Supply）、DC、

射频电源(RF Generator)、微波电源，中频电源及匹配器RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。

分子泵控制器维修

CTI,浦发，爱发科，岛津，varian等各种分子泵控制器维修

流量计/真空规维修

Inficon,MKS,BROOKS,浦发，varian,

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源/匹配器

2、MKS ENI 射频电源及匹配器维修

3、DAIHEN 4、KYOSAN射频电源/匹配器维修

5、COMDEL射频电源及匹配器维修

6、ADTEC射频电源及匹配器维修

7、SEREN射频电源及匹配器维修

8、安捷伦ICPMS电源维修

9、赛默飞ICP射频电源维修，NUM icp射频电源维修

8、RFPP

二、RF MATCH(射频电源匹配网络)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

7、安捷伦

8、赛默飞

9、num

三、高压电源

1、HiTek Power supply高压电源

2、ADVANCE HIVOLT高压电源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源

5、SPELLMAN高压电源

6、Varian高压电源

7、其他品牌

四、直流电源

1、LAMDBA ESS/EMI直流电源

2、Delta ELEKTRONIKA直流电源

3、SORENSEN直流电源

4、AMETEK可编程电源

5、POWER TEN直流电源

6、灯丝电源、X射线电源

7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

3、ASTeX Smart Match

4、mks

东莞全芯致力于半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳 能生产设备、电镀行业设备电子备件，医疗设备电子，科研院所，真空镀膜等行业，致力于各种大功率开关 电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修，RF电源维修、高频电源维修、ups 电源，分子泵控制器维修，电路板，流量计，真空计等尖端精密电子维修和技术服务 。从业二十年，有着丰富原厂的技术支援，有绘制完整的原理图，和各种电源固件，修复率，维修速度快，测试和校准化符合工业规范，达到出厂标准 服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统。