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Advanced Energy Multi Function Match Network MFM 3156035-100A AE AMAT RF-01
来控制工作频率。当应用要求选定
的发生器在阻抗不匹配的情况下运行时，该技术非常有用。可以对频率进行编程，使其在预定范
围内抖动，以最大限度地减少与发电机的负载不匹配。每台发电机上的 DDS 运行参数通过发电机
的串行通信接口进行配置，并无限期地存储在非易失性 RAM 中。
‧ 负载功率
‧ 正向功率
Paramount MF 2 kW 发电机是水冷和风冷、7 高、19 机架安装单元。带数字显示器和六
个状态 LED 的前面板提供基本的发电机监控。主要控制是通过发生器的串行和用户通信接口完
成的。
Paramount MF 2 kW 发电机可为 50 Ω 无反应负载提供高达 2000 W 的功率。该发生器能够将其
额定功率的 100% 提供给 4.79:1 VSWR 负载，使其成为固定匹配应用的理想选择。
依据AE官网及百度文库，对射频电源原理是这样解释的：射频电源可有效产生正弦电压波形通过滤波器和隔离变压器切换整流后的直流电。A.定向耦合器/检测器对RF功率信号进行采样，并使用该信号控制开关波形并因此控制输出功率。取决。调节方法，可以使用正向功率或负载功率作为控制
B、射频电源还可以控制负载处的电压，具有适当的电压反馈，并将装置设置为电压控制模式。
射频电源各种故障常见故障维修:射频便是射频电流，它是一种高频沟通改变电磁波的简称，其每秒改变小于1000次的沟通电称为低频电流，大于1000次的称为高频电流，因而射频电源常见的故障有没有功率输出，反射功率过大，没有波形产生，功率不够，烧场效应管，没有显示，无法通讯等。射频电源匹配器维修 型号OEM-ACG6B 品牌 ENI
维修射频电源 型号APEX5513 品牌Advanced Energy RPSC远程等离子体源维修品牌MKS 美国ASTEX FI20045
射频电源维修前的自我故障排除指南：
1.您是否按照安装要求安装CESAR发电机
本手册中的说明？
4如果是，请执行下一步。
4如果没有，请按照“安装
CESAR消融仪”见第5-3页。
2.电源电压是否在规范范围内？
4如果是，请执行下一步。
4如果不确定或不确定，请参阅第6-5页的“输入电压不正确”。
3.是否满足联锁要求？
4如果是，请执行下一步。
4如果不确定或不确定，请参见第6-3页的“联锁不满足”。
4.前面板显示器（LCD）是否点亮？
4如果是，请执行下一步。
4如果没有，请参阅第6-4页的“前面板显示器（LCD）不亮”。
5.检查前面板显示器有无任何故障（EXX）或警告（WXX）
信息。
更多的故障排除，请参阅
一、美国AE射频电源出现故障维修经验射频电路的原理
射频电路的原理咱们以一般手机射频电路来具体的介绍：
1.接纳电路的结构和工作原理：
接纳过程中天线把基站发送来电磁波转为弱小沟通电流信号经滤波，高频扩大后再送入中频内进行解调，得到接纳基带信息(RXI-P、RXI-N、RXQ-P、RXQ-N)，再送到逻辑音频电路进一步处理。其电路结构：接纳电路由天线、天线开关、滤波器、高放管(低噪声扩大器)、中频集成块(接纳解调器)等电路组成。
2.美国AE射频电源出现故障维修经验发射电路的结构和工作原理
发射时，把逻辑电路处理过的发射基带信息调制成的发射中频，用TX-VCO把发射中频信号频率上变为890M-915M(GSM)的频率信号。经功放扩大后由天线转为电磁波辐射出去。
发射电路由中频内部的发射调制器、发射鉴相器;发射压控振荡器(TX-VCO)、功率扩大器(功放)、功率控制器(功控)、发射互感器等电路组成。
服务品牌：
AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO，MKS,AMAT，相干，RFPP
HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN，ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU，ADL
电源维修
维修尖端精密设备电源配件，主要有高压电源（High Power Supply）、DC、
射频电源(RF Generator)、微波电源，中频电源及匹配器RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。
分子泵控制器维修
CTI,浦发，爱发科，岛津，varian等各种分子泵控制器维修
流量计/真空规维修
Inficon,MKS,BROOKS,浦发，varian,
一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源
1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源/匹配器
2、MKS ENI 射频电源及匹配器维修
3、DAIHEN 4、KYOSAN射频电源/匹配器维修
5、COMDEL射频电源及匹配器维修
6、ADTEC射频电源及匹配器维修
7、SEREN射频电源及匹配器维修
8、安捷伦ICPMS电源维修
9、赛默飞ICP射频电源维修，NUM icp射频电源维修
8、RFPP
二、RF MATCH(射频电源匹配网络)
1、AE （Advanced Energy） RF Match Network
2、LAM RF Match Network
3、AMAT RF Match Network
4、SEREN RF MATCH NETWORK
5、DAIHEN RF Match Network
6、SEREN RF Match Network
7、安捷伦
8、赛默飞
9、num
三、高压电源
1、HiTek Power supply高压电源
2、ADVANCE HIVOLT高压电源
3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源
4、GLASSMAN高压电源
5、SPELLMAN高压电源
6、Varian高压电源
7、其他品牌
四、直流电源
1、LAMDBA ESS/EMI直流电源
2、Delta ELEKTRONIKA直流电源
3、SORENSEN直流电源
4、AMETEK可编程电源
5、POWER TEN直流电源
6、灯丝电源、X射线电源
7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）
五、微波电源发生器
1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator
2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源
3、ASTeX Smart Match
4、mks
东莞全芯致力于半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳 能生产设备、电镀行业设备电子备件，医疗设备电子，科研院所，真空镀膜等行业，致力于各种大功率开关 电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修，RF电源维修、高频电源维修、ups 电源，分子泵控制器维修，电路板，流量计，真空计等尖端精密电子维修和技术服务 。从业二十年，有着丰富原厂的技术支援，有绘制完整的原理图，和各种电源固件，修复率，维修速度快，测试和校准化符合工业规范，达到出厂标准 服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统。
